隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展,芯片測(cè)試系統(tǒng)得到不斷的應(yīng)用以及推廣,芯片測(cè)試系統(tǒng)中晶圓測(cè)試是討論比較多的,那么對(duì)于芯片測(cè)試系統(tǒng)的運(yùn)行大家都了解多少呢?
芯片測(cè)試系統(tǒng)是對(duì)劃片槽測(cè)試鍵的測(cè)試,通過(guò)電性參數(shù)來(lái)監(jiān)控各步工藝是否正常和穩(wěn)定,例如電容,電阻,等,一般在芯片測(cè)試系統(tǒng)完成制程前,是芯片測(cè)試系統(tǒng)從廠(chǎng)出貨到封測(cè)廠(chǎng)的依據(jù),測(cè)試方法是由芯片測(cè)試系統(tǒng)自動(dòng)控制測(cè)試位置和內(nèi)容,測(cè)完某條后,芯片測(cè)試系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)移到下一條,直到整片芯片測(cè)試系統(tǒng)完成。
芯片測(cè)試系統(tǒng)是對(duì)整片芯片測(cè)試系統(tǒng)的每個(gè)的基本器件參數(shù)進(jìn)行測(cè)試,例如閾值電壓,導(dǎo)通電阻,源漏擊穿電壓,柵源漏電流,漏源漏電流等,把壞的芯片挑出來(lái),會(huì)用墨點(diǎn)標(biāo)記,可以減少封裝和測(cè)試的成本,才會(huì)封裝,一般測(cè)試機(jī)臺(tái)的電壓和功率不高,CP是對(duì)芯片測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試,檢查芯片廠(chǎng)制造的工藝水平。
隨著晶圓尺寸越來(lái)越大,晶圓上的問(wèn)題越來(lái)越多,很多公司會(huì)采用抽樣檢查的方式來(lái)減少測(cè)試時(shí)間,至于如何抽樣,涉及不同的芯片測(cè)試系統(tǒng),一些大數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)監(jiān)控軟件可以在測(cè)試的同時(shí)按照一定算法控制走針?lè)较?,例如抽測(cè)到一個(gè)失效后,會(huì)自動(dòng)圍繞這個(gè)Die周?chē)蝗y(cè)試,直到測(cè)試沒(méi)有問(wèn)題,再進(jìn)行下一個(gè)Die的抽測(cè),這種方法可以明顯縮短測(cè)試時(shí)間。
芯片測(cè)試系統(tǒng)是在半導(dǎo)體、芯片生產(chǎn)過(guò)程中進(jìn)行測(cè)試的,用戶(hù)在采購(gòu)芯片測(cè)試系統(tǒng)的時(shí)候可以通過(guò)測(cè)試水平來(lái)評(píng)價(jià)具體廠(chǎng)家的設(shè)備性能。(本文來(lái)源網(wǎng)絡(luò),如有侵權(quán),請(qǐng)聯(lián)系刪除,謝謝。)
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